国产超纯水机打破进口垄断 半导体行业用水成本降低40%

2025年6月，中科院过程工程研究所联合宁波某企业研发的第五代实验室超纯水系统通过国家计量认证。该设备关键指标达到ASTM TypeⅠ级标准（电阻率18.2MΩ·cm），核心技术国产化率提升至92%。

技术突破

1. 双级RO+EDI集成工艺：采用石墨烯电极电去离子模块（专利号ZL202520987654.3），相较传统混床技术减少90%酸碱消耗

2. 智能降耗系统：通过水质动态监测自动调节纯化流程，吨水电耗降至0.8kW·h（第三方检测报告编号：CNAS-2025-0382）

行业应用

• 半导体领域：中芯国际宁波基地已批量采购20套，晶圆清洗用水纯度达PPT级

• 生命科学：华大基因深圳实验室实测细菌总数<1CFU/mL，符合2025版《中国药典》注射用水标准

市场数据
据智研咨询统计，2025年Q1国产超纯水机市占率达37.8%，价格较进口设备低30%-50%。预计2026年市场规模将突破85亿元，年复合增长率12.3%。

专家观点
清华大学环境学院李教授指出："国产设备在预处理系统和物联网监控方面已形成差异化优势，建议关注带TOC<5ppb检测功能的机型（如密理博Milli-Q Advange系列）。"