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【技术突破】量子级纯水系统问世 中国团队攻克0.01ppt杂质难关

点击次数:83   更新时间:2025-09-02   【打印此页】   【关闭【返回上一页】


2025年9月2日 上海电
中科院上海微系统所今日发布全球首套量子级超纯水制备系统,采用新型二维分子筛膜技术,可将水质提升至99.9999999%纯度(电阻率达18.25MΩ·cm)。该系统突破三大技术瓶颈:

  • 粒子控制:纳米气泡消除技术降低溶解氧至0.1ppb

  • 微生物防控:紫外-臭氧协同灭菌模块实现零生物膜形成

  • 智能监测:AI光谱分析仪实时追踪34种痕量元素

该设备已应用于第三代半导体生产线,预计年产规模将达50亿元。(含关键词:半导体高纯水、实验室超纯水系统)



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