2025年9月2日 上海电中科院上海微系统所今日发布全球首套量子级超纯水制备系统,采用新型二维分子筛膜技术,可将水质提升至99.9999999%纯度(电阻率达18.25MΩ·cm)。该系统突破三大技术瓶颈:
粒子控制:纳米气泡消除技术降低溶解氧至0.1ppb
微生物防控:紫外-臭氧协同灭菌模块实现零生物膜形成
智能监测:AI光谱分析仪实时追踪34种痕量元素
该设备已应用于第三代半导体生产线,预计年产规模将达50亿元。(含关键词:半导体高纯水、实验室超纯水系统)